[9a-C310-1~13] 6.4 Thin films and New materials

12:15 PM - 12:30 PM JST(3:15 AM - 3:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-C310-13] Optimization of a-IZO Thin Films for Quantitative Evaluation of Oxygen Gas Barrier Films

〇Yukina Asanuma¹, Taiga Kurihara¹, Minseok Kim¹, Yuki Oguchi², Toshihiro Okajima³, Yuzo Shigesato¹ (1.AoGaku Univ., 2.AoGaku Univ. Analysis Cent., 3.Aichi SR)

Keywords:

oxygen gas barrier,transparent conductive film,evaluation method

酸素ガスバリア性は包装材料や有機EL、太陽電池において非常に重要である。本研究では簡便な定量評価法としてa-IZO薄膜を検討した。多結晶ITOは高温焼成が必要で膜中酸素拡散により評価が困難だが、a-IZOは低温焼成でも酸素空孔の消滅によりキャリア濃度が低下し、透過酸素量と対応づけられる。しかしZnは耐湿性が低く保管状態の影響を受けるため、真空焼成したa-IZOを用いることで定量的なバリア性評価が可能となったので報告する。