講演情報
[9a-C310-13]酸素ガスバリア膜の定量評価に用いるa-IZO薄膜の最適化
〇浅沼 友貴奈1、栗原 大芽1、キム ミンソク1、小口 有希2、岡島 敏浩3、重里 有三1 (1.青学大理工、2.青学大理工分析センター、3.あいちSR)
キーワード：
酸素バリア性能、透明導電膜、評価方法
酸素ガスバリア性は包装材料や有機EL、太陽電池において非常に重要である。本研究では簡便な定量評価法としてa-IZO薄膜を検討した。多結晶ITOは高温焼成が必要で膜中酸素拡散により評価が困難だが、a-IZOは低温焼成でも酸素空孔の消滅によりキャリア濃度が低下し、透過酸素量と対応づけられる。しかしZnは耐湿性が低く保管状態の影響を受けるため、真空焼成したa-IZOを用いることで定量的なバリア性評価が可能となったので報告する。