[9a-N102-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)

[9a-N102-10] Transversal SAW filter with periodically inverted ScAlN and solid flat electrode

〇Yuichiro Hidaka^1,2, Nana Shimazaki^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN)

Keywords:

ScAlN,piezoelectric,ferroelectric

高周波化へ向け、耐電力性に優れた周期的分極反転構造のc軸垂直ScAlN薄膜とベタ電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタを作製した。1-port測定では0.75〜1.80 GHzの範囲で最大7.0%のK値を持つ共振を観測した。また、2-port測定では最小-10.7 dBの良好な通過損失を得た。これにより本構造が横方向にSAWを励振していることを実証し、フィルタ特性を確認した。