講演情報
[9a-N102-10]周期的に分極反転したScAlN薄膜とベタ電極からなるトランスバーサル型SAWデバイス
〇日高 悠一郎1,2、島崎 奈々1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早稲田大学、2.材研)
キーワード：
ScAlN、圧電、強誘電性
高周波化へ向け、耐電力性に優れた周期的分極反転構造のc軸垂直ScAlN薄膜とベタ電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタを作製した。1-port測定では0.75〜1.80 GHzの範囲で最大7.0%のK値を持つ共振を観測した。また、2-port測定では最小-10.7 dBの良好な通過損失を得た。これにより本構造が横方向にSAWを励振していることを実証し、フィルタ特性を確認した。