[9a-N102-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

12:00 PM - 12:15 PM JST(3:00 AM - 3:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-N102-12] Ultrasonic microscope using acoustic Fresnel lens with in-plane selectively polarization-inverted KNN epitaxial films

〇(M2)Wataru Oda^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN)

Keywords:

ferroelectrics,fresnel,acoustic lens

本研究では、超音波顕微鏡の集積化、量産化を可能にするものとして、(K, Na)NbO3エピタキシャル薄膜の面内選択的分極反転を利用した平面型フレネルレンズを提案・実証した。シミュレーションで集束効果を確認後、RFマグネトロンスパッタで成膜したKNN薄膜に電圧を印加して分極反転パターンを形成し、80MHz帯の音波を集束させる構造を作製した。1セント硬貨を撮影し、分極反転によって音波が集束し、鮮明な画像が得られることを確認した。