講演情報
[9a-N102-12]面内周期分極反転KNNエピ膜を用いた音響フレネルレンズによる超音波顕微鏡
〇(M2)小田 航1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早大先進理工、2.材研)
キーワード：
強誘電体、フレネル、音響レンズ
本研究では、超音波顕微鏡の集積化、量産化を可能にするものとして、(K, Na)NbO3エピタキシャル薄膜の面内選択的分極反転を利用した平面型フレネルレンズを提案・実証した。シミュレーションで集束効果を確認後、RFマグネトロンスパッタで成膜したKNN薄膜に電圧を印加して分極反転パターンを形成し、80MHz帯の音波を集束させる構造を作製した。1セント硬貨を撮影し、分極反転によって音波が集束し、鮮明な画像が得られることを確認した。