Presentation Information
[9a-N102-8]Estimation of shear wave TCV in thin film materials using a pulse-echo technique
〇(M2)Nana Shimazaki1,2, Takahiko Yanagitani1,2 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN)
Keywords:
Temperature coefficient,ScAlN
SAWフィルタの温度補償設計に必要な薄膜材料の横波TCVを、GHz帯パルスエコー法で評価した。サファイア基板上のc軸傾斜ScAlNトランスデューサと、裏面に成膜した被測定薄膜を用い、横波エコーの時間差から加熱時の音速変化を測定した。結果、PtやTi等の金属膜の横波TCVは縦波より悪化た。一方ScAlN膜では、Sc濃度増加に伴いTCVが低下する他、縦波に比べて横波の方が優れたTCVを示していた。