講演情報
[9a-N102-8]超音波パルスエコー法による薄膜材料の横波TCVの推定
〇(M2)島崎 奈々1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早稲田大、2.材研)
キーワード：
温度係数、ScAlN
SAWフィルタの温度補償設計に必要な薄膜材料の横波TCVを、GHz帯パルスエコー法で評価した。サファイア基板上のc軸傾斜ScAlNトランスデューサと、裏面に成膜した被測定薄膜を用い、横波エコーの時間差から加熱時の音速変化を測定した。結果、PtやTi等の金属膜の横波TCVは縦波より悪化た。一方ScAlN膜では、Sc濃度増加に伴いTCVが低下する他、縦波に比べて横波の方が優れたTCVを示していた。