[9a-N304-1~11] 18.1 Materials Informatics

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)

[9a-N304-8] Free Energy Analysis of HF Dissociation in Aqueous Solution Using a Machine Learning Interatomic Potential

〇Toshihiro Kume^1,2, Rizka Nur Fadilla¹, Harry Handoko Halim¹, Yoshitada Morikawa¹ (1.Osaka Univ., 2.SCREEN)

Keywords:

computational chemistry,machine learning potential,hydrofluoric acid

フッ化水素（HF）は半導体プロセスにおいて重要な化学種であり，その水溶液中での解離挙動の理解が重要である．本研究では第一原理計算に基づく機械学習原子間ポテンシャルを用い，分子動力学およびアンブレラサンプリングにより自由エネルギーを評価した．反応座標の違いが解離およびイオン分離の記述に与える影響を明らかにした．