講演情報
[9a-N304-8]機械学習原子間ポテンシャルを用いたフッ酸水溶液の解離自由エネルギー解析
〇久米 世大1,2、Rizka Nur Fadilla1、Harry Handoko Halim1、森川 良忠1 (1.阪大院工、2.SCREEN)
キーワード：
計算化学、機械学習ポテンシャル、フッ酸
フッ化水素（HF）は半導体プロセスにおいて重要な化学種であり，その水溶液中での解離挙動の理解が重要である．本研究では第一原理計算に基づく機械学習原子間ポテンシャルを用い，分子動力学およびアンブレラサンプリングにより自由エネルギーを評価した．反応座標の違いが解離およびイオン分離の記述に与える影響を明らかにした．