Presentation Information
[9a-PA1-37]High-throuput screening of thermoelectric properties in combinatorially graded In-doped SnTe thin films
〇(M1C)Takaaki Hasumi1, Yuki Kuramochi1, Takuji Kobayashi1, Masaomi Mizuno1, Ryo Ando2, Ryota Uesugi1, Takashi Komine1 (1.Ibaraki Univ., 2.Ibaraki College.)
Keywords:
thermoelectric conversion,High throughput screening,In-doped SnTe
本研究では，熱電性能の高速スクリーニングシステムを提案する．In–Sn–TeおよびSn-Teターゲットを用いてコスパッタにより4インチガラスウェハ上に組成勾配を持つInドープSnTe薄膜を作製し，埋め込み型プローブによりシート抵抗とゼーベック効果を測定した．Inドープ量に応じたInドープSnTe薄膜における熱電物性の変化を広い範囲で高速に調査することで，最適なドープ量の探索を可能にした．