講演情報
[9a-PA1-37]コンビナトリアル組成傾斜したInドープSnTe薄膜における熱電物性の高速スクリーニング
〇(M1C)蓮見 剛昭1、倉持 祐希1、小林 拓慈1、水野 将臣1、安藤 亮2、上杉 良太1、小峰 啓史1 (1.茨城大工、2.茨城高専)
キーワード：
熱電変換、高速スクリーニング、InドープSnTe
本研究では，熱電性能の高速スクリーニングシステムを提案する．In–Sn–TeおよびSn-Teターゲットを用いてコスパッタにより4インチガラスウェハ上に組成勾配を持つInドープSnTe薄膜を作製し，埋め込み型プローブによりシート抵抗とゼーベック効果を測定した．Inドープ量に応じたInドープSnTe薄膜における熱電物性の変化を広い範囲で高速に調査することで，最適なドープ量の探索を可能にした．