[9p-A11-1~11] 6.3 Oxide electronics

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[9p-A11-10] Fabrication and Gas Response Characterization of Oxide Semiconductor Gas Sensor Arrays Using Electrohydrodynamic Printing

〇Hibiki Ichikawa¹, Sankar Ganesh Ramaraj¹, Hiroyasu Yamahara¹, Tabata Hitoshi¹ (1.Univ. of Tokyo)

Keywords:

gas sensor,oxide semiconductor,electrohydrodynamic printing

半導体式ガスセンサの課題である選択性を向上させるため、複数センサを同一基板上に集積するセンサアレイが注目されている。本報告では電気流体力学印刷を用いてZnO、ZnO/CuO、ZnO/WO₃のナノ粒子センサアレイを作製し、アセトン・エタノール・アンモニアへの応答を評価した。ヘテロ接合形成により応答が増大し、材料構成によって応答特性が変化することを確認した。