講演情報
[9p-A11-10]電気流体力学印刷を用いた酸化物半導体センサアレイの作製とガス応答特性評価
〇市川 響己1、Sankar Ganesh Ramaraj1、山原 弘靖1、田畑 仁1 (1.東大院工)
キーワード：
ガスセンサ、酸化物半導体、電気流体力学印刷
半導体式ガスセンサの課題である選択性を向上させるため、複数センサを同一基板上に集積するセンサアレイが注目されている。本報告では電気流体力学印刷を用いてZnO、ZnO/CuO、ZnO/WO₃のナノ粒子センサアレイを作製し、アセトン・エタノール・アンモニアへの応答を評価した。ヘテロ接合形成により応答が増大し、材料構成によって応答特性が変化することを確認した。