[9p-A11-1~11] 6.3 Oxide electronics

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-A11-6] High-Temperature Sensing Operation of ITO Nanofilm Channel Chemical Sensors

〇Norikazu Hata¹, Yuta Kamijo¹, Tsunaki Takahashi¹, Kodai Yoshigami¹, Ryo Toyoshima¹, Haruka Honda¹, Takuro Hosomi¹, Wataru Tanaka¹, Jiangyang Liu¹, Ken Uchida¹, Takeshi Yanagida^1,2 (1.The Univ. of Tokyo, 2.IMCE, Kyushu Univ.)

Keywords:

Chemical Sensor,Self-Joule Heating,Polycyclic Aromatic Hydrocarbons

ジュール自己加熱センサは低消費電力で気相の分子検出を実現可能であり、次世代ガスセンサとして有望な技術である。しかしセンサチャネル破断のために、駆動温度は最大300℃程度であり、検出可能分子が限られていた。本研究では、電界低減を目的に、低抵抗率なインジウムスズ酸化物をチャネルに用いた。その結果推定600℃での駆動を実現し、これまでのガスセンサでは困難であった多環芳香族炭化水素の検出に成功した。