講演情報
[9p-A11-6]ITOナノ薄膜ガスセンサの高温駆動および分子検出
〇波多 則和1、上條 優太1、高橋 綱己1、由上 航大1、豊島 遼1、本田 陽翔1、細見 拓郎1、田中 航1、劉 江洋1、内田 建1、柳田 剛1,2 (1.東大院工、2.九大先導研)
キーワード：
ガスセンサ、ジュール自己加熱、多環芳香族炭化水素
ジュール自己加熱センサは低消費電力で気相の分子検出を実現可能であり、次世代ガスセンサとして有望な技術である。しかしセンサチャネル破断のために、駆動温度は最大300℃程度であり、検出可能分子が限られていた。本研究では、電界低減を目的に、低抵抗率なインジウムスズ酸化物をチャネルに用いた。その結果推定600℃での駆動を実現し、これまでのガスセンサでは困難であった多環芳香族炭化水素の検出に成功した。