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2:10 PM - 2:40 PM JST(5:10 AM - 5:40 AM UTC)

[9p-B12-3]Laser-produced plasma EUV / soft x-ray sources

〇Takeshi Higashiguchi¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:

laser-produced plasma,extreme ultraviolet (EUV),soft x-ray

無染色で生きた細胞を観察できる水の窓軟X線光源の高出力・高繰り返し化をめざし、重元素多価イオンのUTA発光に着目することで光源を高出力化した．連続供給可能な液体Biターゲット生成装置を開発し、加圧窒素で直径約50 µmのターゲットを真空中に連続供給した．Nd:YAGレーザー（1064 nm、6 ns、600 mJ、10 Hz）を集光照射することで、水の窓軟X線光源を2時間連続動作させた．パルスエネルギーと光子数は時間的にわずかに減少した．

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