講演情報
[9p-B12-3]レーザー生成プラズマEUV・軟X線源
〇東口 武史1 (1.宇都宮大工)
キーワード：
レーザー生成プラズマ、極端紫外、軟X線
無染色で生きた細胞を観察できる水の窓軟X線光源の高出力・高繰り返し化をめざし、重元素多価イオンのUTA発光に着目することで光源を高出力化した．連続供給可能な液体Biターゲット生成装置を開発し、加圧窒素で直径約50 µmのターゲットを真空中に連続供給した．Nd:YAGレーザー（1064 nm、6 ns、600 mJ、10 Hz）を集光照射することで、水の窓軟X線光源を2時間連続動作させた．パルスエネルギーと光子数は時間的にわずかに減少した．