Presentation Information
[9p-C310-6]Structural Analysis of Mn-Doped TiOx Nanostructured Thin Films Prepared by the MOD Method
〇YUKIKO HIROSE1, Akihiro Katsura1, Otoya Okanishi1, Hinata Gohara1, Wenliang Zhu1, Naoka Nagamura2, Tohru Sugahara1 (1.Kyoto Institute of Technology, 2.NIMS)
Keywords:
thin film,semiconductor,Metal oxides
酸化チタンは、光触媒、ガスセンサ、透明導電膜など幅広い分野で利用されている機能性酸化物材料である。また、遷移金属元素をドープした酸化チタンは、結晶構造の変化や、キャリアドープによるバンド構造の変調により、光学・電気特性を制御が可能な材料である。本研究は、MOD法により、酸化チタンの前駆体溶液へ遷移金属のひとつであるMnを1,3,5,7および10mol%混合し、酸化チタンナノ構造薄膜を作製し、各濃度の薄膜の元素置換状態や結晶相状態、化学結合状態を評価した。