講演情報
[9p-C310-6]MOD法により成膜されたMnドープ酸化チタンナノ構造薄膜の構造解析
〇廣瀬 由紀子1、桂 章皓1、岡西 音哉1、郷原 陽向1、朱 文亮1、永村 直佳2、菅原 徹1 (1.京都工芸繊維大学、2.物質・材料研究機構)
キーワード：
薄膜、半導体、金属酸化物
酸化チタンは、光触媒、ガスセンサ、透明導電膜など幅広い分野で利用されている機能性酸化物材料である。また、遷移金属元素をドープした酸化チタンは、結晶構造の変化や、キャリアドープによるバンド構造の変調により、光学・電気特性を制御が可能な材料である。本研究は、MOD法により、酸化チタンの前駆体溶液へ遷移金属のひとつであるMnを1,3,5,7および10mol%混合し、酸化チタンナノ構造薄膜を作製し、各濃度の薄膜の元素置換状態や結晶相状態、化学結合状態を評価した。