[9p-E217-1~9] 13.9 Compound solar cells

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[9p-E217-1] Fabrication of CIGS Particle Position Detectors without Dead Regions

〇Keigo Urasaki¹, Jiro Nishinaga^2,3, Hironori Okumura¹ (1.Tsukuba Univ., 2.Waseda Univ., 3.AIST)

Keywords:

Cu(In,Ga)Se2

CIGSは熱光照射による特性回復機能等を有し、高放射線耐性の位置検出器材料として適している。ピクセル化に必要な素子分離において、塩酸や酢酸によるn層エッチングは逆方向電流を低減できる。しかし、意図せぬアンダーカットにより素子間に不感領域が生じることが課題であった。本研究では、不感領域のない高精度なCIGS検出器の実現に向け、エッチングプロセスの最適化を行った。