講演情報
[9p-E217-1]不感領域のないCIGS荷電粒子位置検出器の作製
〇浦崎 圭吾1、西永 慈郎2,3、奥村 宏典1 (1.筑波大数理、2.早大理工、3.AIST)
キーワード：
銅インジウムガリウムセレン
CIGSは熱光照射による特性回復機能等を有し、高放射線耐性の位置検出器材料として適している。ピクセル化に必要な素子分離において、塩酸や酢酸によるn層エッチングは逆方向電流を低減できる。しかし、意図せぬアンダーカットにより素子間に不感領域が生じることが課題であった。本研究では、不感領域のない高精度なCIGS検出器の実現に向け、エッチングプロセスの最適化を行った。