[9p-F212-1~16] KS.2 Quantum Information Engineering Group

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-F212-6] An ultra-high stressed TiN membrane resonator with quality factors exceeding 10⁸

〇(D)Yuki Matsuyama¹, Shotaro Shirai^2,1, Hirotaka Terai³, Yuji Hishida³, Atsushi Noguchi^1,2,4 (1.Komaba Inst. for Science in Univ. of Tokyo, 2.RIKEN Center for Quantum Computing, 3.NICT, 4.InaRIS)

Keywords:

electromechanics,phononic crystals,superconducting circuits

機械振動子を高感度なセンシングや量子情報技術へ応用するためには、高いQ値をもつデバイスを作製することが重要である。本講演では、高応力窒化チタンを用いて作製した薄膜振動子について発表する。超伝導回路と結合させることで、ミリケルビン環境で薄膜振動子の性能を評価した。その結果、10⁸を超える非常に高いQ値をもつことがわかった。発表では、Q値を向上させるための仕組みや、Q値の温度依存性について述べる。