講演情報
[9p-F212-6]10 mKにおける高応力TiN薄膜振動子の高Q値化
〇(D)松山 勇喜1、白井 菖太郎2,1、寺井 弘高3、菱田 有二3、野口 篤史1,2,4 (1.東大先進、2.理研RQC、3.NICT、4.InaRIS)
キーワード：
エレクトロメカニクス、フォノニック結晶、超伝導回路
機械振動子を高感度なセンシングや量子情報技術へ応用するためには、高いQ値をもつデバイスを作製することが重要である。本講演では、高応力窒化チタンを用いて作製した薄膜振動子について発表する。超伝導回路と結合させることで、ミリケルビン環境で薄膜振動子の性能を評価した。その結果、108を超える非常に高いQ値をもつことがわかった。発表では、Q値を向上させるための仕組みや、Q値の温度依存性について述べる。