[15a-M_135-1~9] 1.6 Ultrasonics

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15a-M_135-4] Analysis of pseudo-plate wave resonance properties on bonded structures with voids directly below and below the edges of electrodes

〇(M1)Masahiro Kawahara¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

plate wave,surface acoustic wave

本研究では，擬似板波の共振特性が得られる電極直下の空隙構造に，電極指先端部下に空隙を設けた構造を提案する．擬似SH₀モード板波が得られるLiNbO₃薄板と電極直下の空隙を設けた水晶の接合構造に，電極端部下の空隙を設けて有限要素法により解析した結果，電極端部下の空隙を設けるとアドミタンス比の増加や共振～反共振間のスプリアス低減が観測された．