[15a-WL2_101-1~10] 6.3 Oxide electronics

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15a-WL2_101-3] High-Sensitivity and Low-Electrical-Resistance Gas Sensor Devices by Hybridizing Molydenum oxide and Graphene with Field Effect Transistor(FET)

〇Otoya Okanishi¹, Akihiro Katsura¹, Yukiko Hirose¹, Naoka Nagamura², Takao Ono³, Takafumi Uemura⁴, Tohru Sugahara¹ (1.KIT, 2.NIMS, 3.UOsaka, 4.SANKEN)

Keywords:

Molybdenum oxide,Graphene,gas sensor

高導電性を有するグラフェンと、大きな比表面積を持つ酸化モリブデンを組み合わせた電界効果トランジスタ（FET）型ガスセンサを作製した。各種揮発性有機化合物（VOC）ガス(エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール)に対する応答特性における電界効果の依存性を詳細に検討した。センシング結果から電界効果によりFET型ハイブリッドガスセンサの感度を自在に増幅し、VOCガスを識別可能なことが示された。