Presentation Information
[15p-PA1-13]3D Integration of metalenses with image sensors
〇Manabu Iwakawa1, Misaki Hanaoka1, Shoichiro Fukushima1, Masaaki Shimatani1, Shinpei Ogawa1 (1.Mitsubishi Electric Corp.)
Keywords:
metalens,metamaterial,image sensor
現状のイメージセンサでは検出器とレンズは別部品で構成されており、システム自体の大型化や高コスト化の要因となっていた。イメージセンサにメタレンズを集積化すれば、システムの大幅な小型化や低コスト化が可能になると期待できる。本研究では回路基板と検出器に相当する基板を3次元的に接合した素子に対して、赤外線メタレンズの形成を行った。