Presentation Information
[15p-PB2-56]Thickness Measurement of Metal Thin Films via Mechanical Characterization
〇Seiju Koike1, Shogo Takeshima1, Kohei Ohnishi1 (1.Kindai Univ.)
Keywords:
Matal thin film,Thickness measurement,Mechanical characterization
薄膜の膜厚測定には、おもに触針式段差計が用いられる。しかしながら、段差計による測定では、基板の湾曲の影響を避けられず、また、適切な段差を形成させた試料が必要である、そこで今回、我々は、段差計を用いずに膜厚を評価する手法として、金属薄膜に対するナノインデンターによる力学物性測定に着目し、その妥当性を検討したので、これを報告する。