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[15p-W9_326-3]Attempt at Soft X-ray Imaging via Visible Light Conversion

〇Shuta Nakao1,4, Yasuo Takeichi2, Haruka Ogawa3, Masaki Mizuguchi3, Yusei Ito1,4, Kanta Ono1,4 (1.Osaka Univ., 2.KEK, 3.Nagoya Univ., 4.OTRI-SPIN)

Keywords:

Soft X-ray Imaging,Microspectroscopy,XEOL

従来の走査型では困難な広視野・高速撮像を目指し、軟X線を可視光変換してCMOSで撮像する投影型顕微鏡を開発した。本手法により、YAG:Ceを用いた高効率透過像や、MgO基板でのXEOLによる磁区構造の動的観察に成功した。これは局所観察では得難い、材料全体の欠陥や反応をマクロかつ統計的に捉える解析法であり、不均一な試料の動的変化や全体像をあるがままに評価することを可能にする画期的な成果である。