Presentation Information
[16p-M_135-11]Measurement of low dew-point using a miniaturized CRDS-based moisture analyzer
〇Hisashi Abe1 (1.AIST)
Keywords:
humidity measurement
キャビティリングダウン分光法（CRDS）はレーザー吸収分光法の一種であり、微量ガスの計測、特に微量水分（霜点 −75 ℃以下）の測定において威力を発揮する手法である。気相中の水蒸気を直接検出するため高い応答性を有する一方で、低露点測定への応用例は未だほとんど報告がない。そこで本研究では、我々が既に開発済みの小型CRDS微量水分計を用いて、CRDSの低露点測定(霜点 −70 ℃以上)への応用可能性について検討した。