Presentation Information
[17a-PA1-34]Thermal Conductivity Measurement of Thin Films Based on MEMS Technology
〇Yoshiharu Yamada1, Yoshiharu Kakehi1 (1.ORIST)
Keywords:
Thin-Film,Thermal Conductivity,microfabrication
持続可能な社会の実現に向けて熱電発電や熱流制御技術への関心が高まり、これらを支える薄膜材料の熱特性を測定する技術が求められている。しかし、薄膜材料の測定は、基板の影響が支配的となるため、熱伝導率の測定は容易ではない。我々は、熱容量が小さいというダイアフラム構造の特徴に着目して薄膜の熱特性を測定する手法について取り組んできた。本研究では微細加工したサンプルの薄膜の熱伝導率測定について報告する。