[17p-W9_323-1~10] CS.7 Code-sharing Session of 6.5 & 7.5

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)

[17p-W9_323-8] Lifshitz-Theory-Guided Dielectric Engineering for Wetting Control

〇Kazuhiro Fukada¹ (1.SHIBAURA MACHINE)

Keywords:

P-CVD,Lifshitz theory,Wetting

本研究では、Lifshitz理論に基づいた誘電率系列の制御により界面にファンデルワールス斥力を発生させる濡れ性制御手法を提案した。ポリカーボネート基板上に数nmのSiOx膜を形成した結果、平坦かつフッ素フリーで接触角128°を実現した。これは薄膜化に伴う斥力項の増大に起因し、誘電特性のみによる濡れ性制御の有効性を実証した。