Presentation Information
[18a-PB2-21]Neural Probe with Microfluidic Channels and Electrodes Using SU-8 Sidewall Structures
〇PeiJin Goh1, Kazuki Moriya1, Takuya Hikima2, Noriaki Ohkawa2, Hiroto Sekiguchi3 (1.Toyohashi Tech, 2.Dokkyo Med. Univ., 3.Meijo Univ.)
Keywords:
Microfluidic channel,Neural electrode
マイクロ流路と神経電極を統合した神経プローブの開発において，流路の形成はエポキシ系ネガ型フォトレジストSU-8と犠牲層レジストを用いた簡便な手法に取り組んだ．本手法の特徴は，SU-8側壁構造を先に形成し，その狭い間隙に犠牲層レジストをスピンコートすることで，表面張力効果により流路高さを増大させる点にある．さらに，この神経プローブは，マウス脳内への薬液供給と神経活動の同時記録に成功したので報告する．