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[J224-01]RIE 加工したプラスチック光ファイバの断面形状の観察手法の検討
〇中島 遼1、中西 拓登1、羅 丞曜4、李 ひよん2、水野 洋輔3、山根 大輔1 (1. 立命館大学、2. 芝浦工業大学、3. 横浜国立大学、4. 国立清華大学)
Keywords:
プラスチック光ファイバ,RIE（反応性イオンエッチング）,有限要素法
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