[C01-13a-IV] Award lecture, EUV light source, Attosecond science

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[C01-13a-IV-01] 【産業賞受賞記念講演】マスクパターン検査装置用高輝度EUV光源へのレーザーの応用

*Naosuke Tani¹, Keitaro Hayashida¹, Karl Joel Hallbaeck¹, Masaki Koichi¹, Hiroki Miyai¹ (1. Lasertec Corporation)