[D11-15p-VI] Laser Ablation and Applications II

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)

[D11-15p-VI-05] 【論文発表賞応募演題】微細加工品質評価を目指した光音響効果に基づくレーザー検査手法の開発

*Reo Terauchi¹, Katsuhiro Mikami¹, Kenichi Ikeda², Yusuke Nakaminami², Masanori Otake² (1. Kindai.univ., 2. Opto Systems Co., LTD.)