[D11-15p-VI] レーザーアブレーションと応用技術Ⅱ

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[D11-15p-VI-05] 【論文発表賞応募演題】微細加工品質評価を目指した光音響効果に基づくレーザー検査手法の開発

*寺内 玲碧¹、三上 勝大¹、池田 研一²、中南 友佑²、大竹 政則² (1. 近畿大学、2. オプト・システム（株）)