Session Details
[E09-15a-III]New light sources for measurements, Detection technology
Thu. Jan 15, 2026 9:15 AM - 10:30 AM JST
Thu. Jan 15, 2026 12:15 AM - 1:30 AM UTC
Thu. Jan 15, 2026 12:15 AM - 1:30 AM UTC
Room III(B1 Meeting Room)
Chair:Yoshiaki Nakajima
[E09-15a-III-01]【産業賞受賞記念講演】半導体検査装置用266nm高出力パルスファイバーレーザー光源
*Kota Koike1 (1. OXIDE Corporation)
[E09-15a-III-02]【論文発表賞応募演題】XFEL実験での金属材料評価用レーザー始動アーク放電装置の開発
*Ryotaro Takahashi1, Yurina Michine1, Hitoki Yoneda1, Jun Yamashita2 (1. Institute for Laser Science, 2. Yazaki Research and Technology Center)
[E09-15a-III-03]【論文発表賞応募演題】電子線励起アシスト光学顕微鏡の試料ダメージ低減に向けた電子光学系の検討
*Kohei Shimada1, Yu Masuda1, Wataru Inami1,2, Kawata Yoshimasa2 (1. Shizuoka Univ., Eng., 2. Shizuoka Univ., RIE)
[E09-15a-III-04]【論文発表賞応募演題】電子線励起アシスト光学顕微鏡の高機能化に向けたナノ粒子蛍光膜の作製と電子線励起発光の評価
*Ryusei Numao1, Yu Masuda1, Wataru Inami1,2, Yoshimasa Kawata2 (1. Shizuoka Univ., Eng., 2. Shizuoka Univ., RIE)
[E09-15a-III-05]【論文発表賞応募演題】電子線励起アシスト顕微鏡における試料ダメージ低減のための電子線障壁の開発と評価
*So Kawamura1, Yu Masuda1, Wataru Inami1,2, Yoshimasa Kawata2 (1. Shizuoka Univ., Eng., 2. Sizuoka Univ., RIE)
