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[B-15-47]A Study on Analysis-Supportive Data Migration for Large-Scale Inspection Data Analysis

〇Taisuke Ueta1, Akinori Matsushita1, Jun Nakamura2, Yoshihisa Uchida2, Hirohito Koike2, Hiroyuki Shindo2 (1. Hitachi, Ltd., 2. Hitachi High-Tech Corporation)

Keywords:

Data Analysis,Data Store,Visualization

AIやIoT等のデジタル技術が普及し,高機能化が進む検査装置から得られるデータ量は増加している.システムの記憶資源が限られる中でも,大量の検査結果の迅速な解析が期待される.これまで報告者は,半導体検査システムを例に限られた計算資源や記憶資源の中での大量検査結果の投入手法および可視化手法の検討を進めてきた.本稿ではアクセス速度や容量の異なる複数の記憶媒体を備えるシステムにおいて,解析に有用なデータを高速記憶媒体に残しつつ,他のデータを低速記憶媒体へ順次移行することを図った.解析画面上から高速記憶媒体に残す検査結果を選択可能とし,欠陥等に係る有用なデータへの高速参照を維持することで,大規模解析を支援できることを示した.