講演情報
[B-15-47]大規模検査データ解析に向けた解析支援型データ移行手法の一検討
〇植田 泰輔1、松下 明哲1、中村 潤2、内田 善久2、小池 弘人2、新藤 博之2 (1. 日立、2. 日立ハイテク)
キーワード：
データ解析、データストア、可視化
AIやIoT等のデジタル技術が普及し，高機能化が進む検査装置から得られるデータ量は増加している．システムの記憶資源が限られる中でも，大量の検査結果の迅速な解析が期待される．これまで報告者は，半導体検査システムを例に限られた計算資源や記憶資源の中での大量検査結果の投入手法および可視化手法の検討を進めてきた．本稿ではアクセス速度や容量の異なる複数の記憶媒体を備えるシステムにおいて，解析に有用なデータを高速記憶媒体に残しつつ，他のデータを低速記憶媒体へ順次移行することを図った．解析画面上から高速記憶媒体に残す検査結果を選択可能とし，欠陥等に係る有用なデータへの高速参照を維持することで，大規模解析を支援できることを示した．