[C-3_C-4] Optoelectronics / Lasers and Quantum Electronics

8:45 AM - 9:15 AM JST(11:45 PM - 12:15 AM UTC)

[C-3_C-4-01] Design and Fabrication Methods of Mosaic-Based Devices for Compact Photonic Integrated Circuits

〇Takuya Mitarai¹, Takeshi Fujisawa², Yusuke Sawada¹, Kento Komatsu¹, Takuya Okimoto¹, Takuo Hiratani¹, Hideki Yagi¹, Naoki Fujiwara¹ (1. Sumitomo Electric Industries, Ltd., 2. Hosei University)

Keywords:

Si Photonics,Photonic Integrated Circuits,Heterogeneous Integration,Mosaic-based Devices

モザイク素子は，数µm角程度のSi 導波路に100 nm
オーダの孔をいくつも加工した素子であり，孔の配
置の違いでパワースプリッタ機能や波長分波等，
様々な機能が実現できる．以前報告したC 帯光源
とL 帯光源とを1 チップに集積したC+L 帯波長可変
光源の動作帯域をS 帯にまで拡張するにあたり，
今回はS 帯，C帯，およびL 帯の3 つの波長可変光源
からの光をロスレスで合波するためのモザイク型
SCL 合波器を試作したので報告する．またその設
計手法と作製プロセスについてもあわせて紹介する．