[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

8:45 〜 9:15

[C-3_C-4-01] 光集積回路の小型化を可能とするモザイク素子の設計と作製技術

〇御手洗 拓矢¹、藤澤 剛²、澤田 祐甫¹、小松 憲人¹、沖本 拓也¹、平谷 拓生¹、八木 英樹¹、藤原 直樹¹ (1. 住友電気工業株式会社、2. 法政大学)

キーワード：

シリコンフォトニクス、光集積回路、異種材料集積、モザイク素子

モザイク素子は，数µm角程度のSi 導波路に100 nm
オーダの孔をいくつも加工した素子であり，孔の配
置の違いでパワースプリッタ機能や波長分波等，
様々な機能が実現できる．以前報告したC 帯光源
とL 帯光源とを1 チップに集積したC+L 帯波長可変
光源の動作帯域をS 帯にまで拡張するにあたり，
今回はS 帯，C帯，およびL 帯の3 つの波長可変光源
からの光をロスレスで合波するためのモザイク型
SCL 合波器を試作したので報告する．またその設
計手法と作製プロセスについてもあわせて紹介する．