[C-3_C-4] Optoelectronics / Lasers and Quantum Electronics

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[C-3_C-4-04] Three-Dimensional Waveguide Fabrication in Silica-Based Planar Lightwave Circuits

〇Ai Yanagihara¹, Yoshinori Hibino², Yamato Uchida², Makoto Abe¹, Masashi Ota¹, Osamu Moriwaki¹ (1. NTT, Inc., 2. NTT Innovative Devices Corporation)

Keywords:

Silica-Based Planar Lightwave Circuits,Three-Dimensional Waveguide,Optical Interconnect

石英平面光波回路（PLC）を用いた三次元導波路形成技術を提案する。局所エッチングにより形成したスロープ構造を用いて導波路高さを変換する層変換構造を試作し、その基本光学特性を評価した。試作デバイスにより、石英PLC上で三次元導波路を実現可能であることを確認した。