講演情報
[C-3_C-4-04]石英平面光波回路を用いた三次元導波路形成技術
〇栁原 藍1、日比野 善典2、内田 大日2、阿部 淳1、太田 雅1、森脇 摂1 (1. NTT株式会社、2. NTTイノベーティブデバイス株式会社)
キーワード：
石英平面光波回路、三次元導波路、光インターコネクト
石英平面光波回路（PLC）を用いた三次元導波路形成技術を提案する。局所エッチングにより形成したスロープ構造を用いて導波路高さを変換する層変換構造を試作し、その基本光学特性を評価した。試作デバイスにより、石英PLC上で三次元導波路を実現可能であることを確認した。