Presentation Information
[C-6-01]電極材料としてのTiNx膜の配向制御
〇Mayumi B. Takeyama1, Masaru Sato1 (1. Kitami Institute of Technology)
Keywords:
LSI,electrode materials,TiN,orientation control
近年、新規デバイスにおける電極材料として着目されているTiN膜は、その構造・組織によりデバイス性能を左右することから電極材料の配向や結晶性を制御することが課題となっている。そこで本研究では、これまで我々が拡散バリヤとしてTiN膜の検討を進める中で、スパッタ条件を制御することで配向や粒径の制御が可能であることを実証したので、その詳細を以下に報告する。