[C-6] 電子部品・材料

10:00 〜 10:15

[C-6-01] 電極材料としてのTiN_x膜の配向制御

〇武山 真弓¹、佐藤 勝¹ (1. 北見工業大学)

キーワード：

集積回路、電極材料、TiN、配向制御

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