S12 学生講演1

9:15 〜 9:30

[S12_1_01] 白金微粒子を用いた高ドープp型シリコンの金属援用エッチング
ーフッ化水素酸濃度によるメソポーラス層の形態変化ー

〇田中 琉功¹、松本 歩¹、八重 真治¹ (1. 兵庫県立大学)