セッション３(一般講演・学生講演)

13:15 〜 13:30

[S14_1_08] シリコンの金属援用エッチングにおけるパターン外リモートエッチの可視光発光による評価

〇八重 真治¹、藤本 唯芽¹、田中 琉功¹、松本 歩¹ (1. 兵庫県立大学)