[B-9] 電子通信エネルギー技術

15:45 〜 16:00学術奨励賞候補対象キャリアエクスプローラー

[B-9-08] 半導体ウエハの超微細エッチングに向けた特殊波形 RF 電源回路に関する研究

◎△河津 瑞希¹、石浜 裕一¹、古里 友宏¹、石塚 洋一¹ (1. 長崎大学大学院)

キーワード：

電源回路、プラズマ