[C-11] シリコン材料・デバイス

9:15 〜 9:30学術奨励賞候補対象キャリアエクスプローラー

[C-11-02] 陽極酸化により作製するシリコンワイヤの表面微細構造制御

◎△池田 浩然¹、保科 好輝¹、長澤 裕貴¹、渡邊 良祐²、鈴木 俊明¹、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1. 東京電機大、2. 弘前大)

キーワード：

シリコンワイヤ、陽極酸化、微細構造、転位

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